Die WL-Serie wurde für besonders anspruchsvolle Vakuumanwendungen entwickelt, wie z. B. hohe Anforderungen an Dichtigkeit, Korrosion und Qualität. Darüber hinaus sind die Filter auf einen guten Leitwert optimiert, um so Kosten und Zeit für das Fahren von Batches zu minimieren.
Mit einer Vielzahl an Optionen bezüglich Anschluss-Flanschen, Filtereinsätzen und Materialien bzw. Beschichtungen ist der WL-Serie die optimale Wahl für Ihre Vakuumkammer. Die Gehäuse werden darüber hinaus zu 100% auf 1x10-5 mbar l/sek Helium leckgesucht (Protokolle sind auftragsbezogen erhältlich).
Andwendungsbereiche
- Vakuumbeschichtung (CVD, PCVD)
- Abscheidung von kondensierbaren Dämpfen
- Schutz gegen Rückströmung (Foreline Trap)
- Silizium-Kristallzucht (Ingot)
- Laminierungsanwendungen (z. B. Solarzellen)
- Stahlentgasung
- inerte Kreislaufprozesse
- Additive Fertigung
- Vakuumöfen
- andere Dünnschichtprozesse
Kompakte Vakuumfilter der WL-Baureihe
| Größe | Anschluss | V max (m³/h) | Teilenummer (Polyester, 5µm) | Teilenummer (Papier, 2 µm) |
|---|---|---|---|---|
| NW16 | ISO Kf | 39 | WL-825-NW16B | WL-824-NW16B |
| NW25 | ISO Kf | 42 | WL-825-NW25B | WL-824-NW25B |
| NW25 | ISO Kf | 59 | WL-843-NW25B | WL-842-NW25B |
| NW40 | ISO Kf | 93 | WL-843-NW40B | WL-842-NW40B |
| NW40 | ISO Kf | 136 | WL-849-NW40B | WL-848-NW40B |
| K63 | ISO K | 357 | WL-851-K63B | WL-850-K63B |
| K100 | ISO K | 510 | WL-239-K100B | WL-238-K100B |
Bitte kontaktieren Sie SOLBERG zur geeigneten Größenauswahl. Änderungen vorbehalten.
Kompakte Vakuumfilter der WL-Baureihe, chemisch vernickelt
| Größe | Anschluss | V max (m³/h) | Teilenummer (Polyester, 5µm) | Teilenummer (Papier, 2 µm) |
|---|---|---|---|---|
| NW16 | ISO Kf | 39 | WL-825-NW16EN | WL-824-NW16EN |
| NW25 | ISO Kf | 42 | WL-825-NW25EN | WL-824-NW25EN |
| NW25 | ISO Kf | 59 | WL-843-NW25EN | WL-842-NW25EN |
| NW40 | ISO Kf | 93 | WL-843-NW40EN | WL-842-NW40EN |
| NW40 | ISO Kf | 136 | WL-849-NW40EN | WL-848-NW40EN |
| K63 | ISO K | 357 | WL-851-K63EN | WL-850-K63EN |
| K100 | ISO K | 510 | WL-239-K100EN | WL-238-K100EN |
Bitte kontaktieren Sie SOLBERG zur geeigneten Größenauswahl. Änderungen vorbehalten.
Vakuumfilter der CSL-Baureihe - ISO K Anschlüsse
| Größe | Anschluss | V max (m³/h) | Teilenummer (Polyester, 5µm) | Teilenummer (Papier, 2 µm) |
|---|---|---|---|---|
| K100 | ISO K | 885 | WL-235P-K100 | WL-234P-K100 |
| K100 | ISO K | 885 | WL-335P-K100 | WL-334P-K100 |
| K160 | ISO K | 1870 | WL-275P-K160 | WL-274P-K160 |
| K160 | ISO K | 1870 | WL-375P-K160 | WL-374P-K160 |
| K200 | ISO K | 3060 | WL-377P-K200 | WL-376P-K200 |
| K250 | ISO K | 4930 | WL-385P-K250 | WL-384P-K250 |
| K320 | ISO K | 7935 | WL-485P-K320 | WL-484P-K320 |
| K320 | ISO K | 8415 | WL-685P-K320 | WL-684P-K320 |
Bitte kontaktieren Sie SOLBERG zur geeigneten Größenauswahl. Änderungen vorbehalten.
Vorteile
- ISO Kf bzw. ISO K Stutzen aus Edelstahl
- Großer Staubsammelbehälter und leichte Reinigung, besonders bei horizontalem oder vertikalem Einbau
- sehr geringer Druckverlust bzw. gute Leitwerte
- 100% Helium leckgesucht
Eigenschaften
- Vakuumdichtigkeit: besser als 1x10-5 mbar l/s
- “Kompakte Baureihe” Filtergehäuse aus tiefgezogenem Stahl (bis 4")
- “Große Baureihe” Filtergehäuse aus professionell vakuumdicht geschweißtem Stahl (Flansch-Baureihe und mit Rohrstutzen)
- Abdichtung mit O-Ring
- Einfache und sichere Verschlüsse
- beständige Pulverlackbeschichtung ohne Ausgasung
Technische Spezifikationen
- Einsatzbereich: grobes, mittleres und feines Vakuum
- Dauertemperatur: min. ‐26°C, max. 104°C
- Hochtemperaturoptionen bis 230° C auf Anfrage erhältlich
- Polyester: ≥99% bei 5 µm, ISO16890 ePM10 75%
- Feinpolyester: ≥99% bei 1 µm, ISO16890 ePM2.5 60%
- Paper: ≥99% bei 2 µm, ISO16890 ePM2.5 50%
- PTFE: ≥99,5% bei 0,3 µm, EN1822 E11
Optionen
- Viton-Dichtungen
- Edelstahl in 304L (V2A) und 316L (V4A)
- Aktiviertes Aluminiumoxid, Zeolith, Aktivkohle, uvw. für den Einsatz als Vakuumfalle oder Foreline-Trap
